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资源简介
摘要：本文件规定了KSM-MJB3型掩膜对准曝光机的完好要求及其检查评定方法，包括设备的技术状态、性能指标、安全要求及维护保养规范。本文件适用于KSM-MJB3型掩膜对准曝光机的验收、使用、维护和管理。
Title：Requirements and Inspection Evaluation Methods for KSM-MJB3 Mask Aligner Exposure Machine in Good Condition
中国标准分类号：M62
国际标准分类号：25.140 -
封面预览
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拓展解读
主要内容
SJT 31120-1994《KSM-MJB3型掩膜对准曝光机完好要求和检查评定方法》规定了KSM-MJB3型掩膜对准曝光机的完好标准及检查评定的具体方法。该标准适用于该型号设备的日常维护、定期检查以及性能评估。
- 完好要求：
- 机械部分：设备的运动部件应灵活无卡滞，紧固件不得松动。
- 光学系统：光源亮度稳定，光路清晰无污染。
- 电气系统：电路连接可靠，控制面板功能正常。
- 安全措施：设备的安全防护装置完整有效。
- 检查评定方法：
- 目视检查：观察设备外观是否完好。
- 功能性测试：通过实际操作验证各项功能是否符合要求。
- 记录保存：将检查结果详细记录并归档。
与老版本的变化
相比老版本，SJT 31120-1994在以下几个方面进行了更新和改进：
- 新增了对设备光学系统的具体要求，强调了光路清洁的重要性。
- 细化了电气系统检查的内容，增加了电路绝缘性的检测项目。
- 优化了检查评定流程，引入了更科学的功能性测试方法。
- 强化了安全措施的评估标准，确保设备运行过程中的安全性。
- 完好要求：
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