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摘要:本文件规定了离子注入机的完好要求及检查评定方法。本文件适用于离子注入机的维护、管理和性能评估。 Title:Requirements and Inspection Evaluation Methods for Ion Implanters 中国标准分类号:M52 国际标准分类号:25.100
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拓展解读
为了在遵守SJT 31068-1994标准的前提下,提高灵活性、优化流程并降低成本,以下从核心业务环节出发,提出了10项可行的弹性方案。
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