资源简介
摘要:本文件规定了电子工业用气体硅烷(SiH4)的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于电子工业中用于制造半导体器件、太阳能电池等的硅烷气体。
Title:Electronic Industry Gas - Silane (SiH4)
中国标准分类号:H23
国际标准分类号:71.100.99
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拓展解读
在遵循GBT 15909-1995标准的前提下,通过灵活执行和优化流程,可以在保障质量的同时降低生产成本。以下是针对核心业务环节提出的10项弹性方案。