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摘要:本文件规定了半导体设备电源接口的术语和定义、技术要求、试验方法及标志。本文件适用于半导体设备中电源接口的设计、制造和检验。 Title:Semiconductor Equipment - Power Interfaces 中国标准分类号:M43 国际标准分类号:25.140
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拓展解读
GBT 15872-2013 是关于半导体设备电源接口的标准,旨在规范半导体设备的电源接口设计和使用,确保设备之间的兼容性和安全性。
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