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摘要:本文件规定了离子注入机的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于半导体制造中使用的离子注入机。 Title:General Specifications for Ion Implanters 中国标准分类号:M43 国际标准分类号:25.160
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拓展解读
在遵守GBT 15862-2012标准的前提下,通过优化流程和资源配置,可以在多个关键环节实现灵活性和成本控制。
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