GBT 1554-2009 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法

GBT 1554-2009主要内容

GBT 1554-2009《硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法》规定了通过化学择优腐蚀来检测硅晶体完整性的方法。该标准适用于单晶硅和多晶硅材料的完整性检验，主要涉及腐蚀液的选择、腐蚀过程的操作步骤以及结果的观察和记录。

• 腐蚀液选择： 标准中详细列出了不同类型的腐蚀液及其适用范围，包括氢氧化钾（KOH）、四甲基氢氧化铵（TMAH）等。
• 操作步骤： 提供了具体的腐蚀温度、时间控制以及安全操作规范，确保测试结果的准确性和一致性。
• 结果观察： 要求对腐蚀后的样品表面进行显微镜观察，并记录缺陷类型和分布情况。

与老版本的变化

相比老版本，GBT 1554-2009在以下几个方面进行了更新和改进：

• 腐蚀液种类增加： 新增了一些新型腐蚀液，以适应不同类型的硅晶体材料。
• 操作细节更精确： 对腐蚀时间和温度的控制要求更加严格，提高了测试结果的可靠性。
• 安全性增强： 强调了腐蚀过程中使用的化学品的安全处理措施，增加了环保要求。
• 结果评估标准优化： 更新了缺陷分类的标准，使结果更具可比性。