资源简介
摘要:本文件规定了用光电导衰减法测定硅和锗体内少数载流子寿命的方法、设备要求、样品制备及测试步骤。本文件适用于硅和锗材料的少数载流子寿命测定,可用于评估半导体材料的质量及工艺性能。
Title:Determination of minority carrier lifetime in silicon and germanium by photoconductance decay method
中国标准分类号:H13
国际标准分类号:29.045
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拓展解读
GBT 1553-2023《硅和锗体内少数载流子寿命的测定 光电导衰减法》规定了通过光电导衰减法测定硅和锗材料中少数载流子寿命的方法。该标准适用于半导体材料的研究、生产和质量控制。