资源简介
摘要:本文件规定了硅单晶的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本文件适用于直拉法(CZ法)和区熔法(FZ法)生产的硅单晶,主要用于制作半导体器件和集成电路的衬底材料。 Title:Silicon Single Crystal 中国标准分类号:H32 国际标准分类号:29.045
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拓展解读
在遵循GBT 12962-2005《硅单晶》标准的前提下,通过深入分析核心业务环节,可以找到一些灵活执行的空间,从而实现流程优化和成本降低。
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