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摘要:本文件规定了硅单晶的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本文件适用于以直拉法或区熔法生长的硅单晶,主要用于制作半导体器件和集成电路的衬底材料。 Title:Silicon Single Crystal 中国标准分类号:H52 国际标准分类号:29.045
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拓展解读
GBT 12962-1996 是关于硅单晶的国家标准,规定了硅单晶的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存等内容。
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