T/CASAS 013-2021 标准详情
T/CASAS 013-2021
现行
碳化硅晶片位错密度检测方法 KOH腐蚀结合图像识别法
Measuring method for testing the density of dislocation in SiC crystalCombined KOH etching and image recognition methods
标准内容导航
标准状态
标准信息
适用范围
本本件规定了用化学择优腐蚀结合图像识别法检测碳化硅晶片中位错密度的方法。 本文件适用于4H及6H-SiC晶片材料中Si面位错检测及其密度统计，材料表面为化学机械抛光状态。
主要技术内容
本本件规定了用化学择优腐蚀结合图像识别法检测碳化硅晶片中位错密度的方法。本文件适用于4H及6H-SiC晶片材料中Si面位错检测及其密度统计，材料表面为化学机械抛光状态。
起草单位
广州南砂晶圆半导体技术有限公司、山东大学、深圳第三代半导体研究院、广东芯聚能半导体有限公司、中国科学院半导体研究所、北京第三代半导体产业技术创新战略联盟
起草人
陈秀芳、崔潆心、于金英、胡小波、于国建、徐现刚、杨安丽、朱贤龙、魏学成、赵璐冰
相似标准推荐
行业标准
JC/T 2212-2014
现行
常压固相烧结碳化硅陶瓷热交换管
T/IAWBS 016-2022
现行
碳化硅单晶片 X 射线双晶摇 摆曲线半高宽测试方法
行业标准
JB/T 10044-2015
现行
碳化硅特种制品 硅碳管
行业标准
JC/T 2346-2015
现行
碳化硅陶瓷过滤器
国家标准
GB/T 34520.6-2017
现行
连续碳化硅纤维测试方法 第6部分：电阻率
Test methods for continuous silicon carbide fiber－Part 6：Resistivity
国家标准
GB/T 34520.9-2021
现行
连续碳化硅纤维测试方法 第9部分：碳含量
Test methods of continuous silicon carbide fibers—Part 9：Carbon content
行业标准
JC/T 2013-2010
现行
碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅板
国家标准
GB/T 43612-2023
现行
碳化硅晶体材料缺陷图谱
Collection of metallographs on defects in silicon carbide crystal materials
行业标准
JB/T 10449-2020
现行
碳化硅特种制品 重结晶碳化硅 方梁
国家标准
GB/T 32278-2025
现行
碳化硅单晶片厚度和平整度测试方法
Test method for thickness and fltaness of monocrystalline silicon carbide wafers
行业标准
JC/T 2149-2012
现行
高纯碳化硅粉体成分分析方法
行业标准
JB/T 13309-2017
现行
碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅内衬与钢壳复合装置
国家标准
GB/T 34520.4-2017
现行
连续碳化硅纤维测试方法 第4部分：束丝拉伸性能
Test methods for continuous silicon carbide fiber—Part 4：Tensile properties of filament yarn
行业标准
JC/T 2656-2022
现行
碳化硅陶瓷制品 工业计算机层析成像(CT)检测
国家标准
GB/T 34520.8-2021
现行
连续碳化硅纤维测试方法 第8部分：氧含量
Test methods of continuous silicon carbide fibers—Part 8：Oxygen content
T/NXCL 011-2022
现行
窑具用碳化硅微粉技术规范
Technical specification of silicon carbide powder for kiln furniture
行业标准
JB/T 13945-2020
现行
碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅 匣钵
国家标准
GB/T 34520.7-2017
现行
连续碳化硅纤维测试方法 第7部分：高温强度保留率
Test methods for continuous silicon carbide fiber—Part 7 ：High temperature strength retention rate
行业标准
JB/T 8340-2013
现行
碳化硅特种制品 重结晶碳化硅热电偶保护管
国家标准
GB/T 37254-2018
现行
高纯碳化硅 微量元素的测定
High purity silicon carbide—Determination of trace elements
行业标准
YB/T 6113-2023
现行
电加热炉碳化硅导热体
行业标准
JB/T 10988-2023
现行
碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅 脱硫喷嘴
行业标准
SN/T 1039-2020
现行
进出口吨包装碳化硅取样制样方法
国家标准
GB/T 21944.1-2022
现行
碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅窑具 第1部分：方梁
Special products of silicon carbide—Kiln furniture of reaction bonded silicon carbide—Part 1：Beams
国家标准
GB/T 21944.4-2022
现行
碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅窑具 第4部分：烧嘴套
Special products of silicon carbide—Kiln furniture of reaction bonded silicon carbide—Part 4: Burner nozzles
T/CSTM 00646.2-2021
现行
金属材料 销-盘摩擦磨损试验 第2部分：高温摩擦磨损试验方法
Metal materials_—Friction and wear testing with a pin-on-disk apparatus — Part 2: Friction and wear testing at high-temperature
下载电子版
正在请求下载信息...