单晶硅生长
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大尺寸直拉单晶硅生长过程中熔体流动不稳定特性及其对结晶界面形状的影响-刘立军
大尺寸直拉单晶硅
熔体流动不稳定
结晶界面形状
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直拉法单晶硅生长过程中实时监测结晶界面形状的方法
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单晶硅生长
结晶界面监测
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晶体缺陷
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