单晶硅生长
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大尺寸直拉单晶硅生长过程中熔体流动不稳定特性及其对结晶界面形状的影响-刘立军
大尺寸直拉单晶硅
熔体流动不稳定
结晶界面形状
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直拉法单晶硅生长过程中实时监测结晶界面形状的方法
直拉法
单晶硅生长
结晶界面监测
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超重大尺寸单晶硅生长的主要技术挑战及其应对策略
超重大尺寸
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直拉法单晶硅生长原理、工艺及展望
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晶体缺陷
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