方法
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SJ/T 31121-1994 JB--Ⅶ型掩模对准曝光机完好要求和检查评定方法
对准
评定
曝光
946浏览行业标准-电子L97电子元器件与信息技术 - 电子工业生产设备 - 加工专用设备
SJ/T 31119-1994 掩模对准曝光机完好要求和检查评定方法
对准
评定
曝光
790浏览行业标准-电子L97电子元器件与信息技术 - 电子工业生产设备 - 加工专用设备
SJ/T 31120-1994 KSM--MJB3型掩模对准曝光机完好要求和检查评定方法
对准
评定
曝光
557浏览行业标准-电子L97电子元器件与信息技术 - 电子工业生产设备 - 加工专用设备
SJ/T 31118-1994 RS-H80H型外圆研磨机完好要求和检查评定方法
评定
检查
方法
715浏览行业标准-电子L97电子元器件与信息技术 - 电子工业生产设备 - 加工专用设备
SJ/T 31115-1994 精缩机完好要求和检查评定方法
评定
检查
方法
718浏览行业标准-电子L97电子元器件与信息技术 - 电子工业生产设备 - 加工专用设备
SJ/T 31116-1994 PLA-501F型光刻机完好要求和检查评定方法
光刻
评定
检查
989浏览行业标准-电子L97电子元器件与信息技术 - 电子工业生产设备 - 加工专用设备
SJ/T 31117-1994 15B型磨片机完好要求和检查评定方法
评定
检查
方法
802浏览行业标准-电子L97电子元器件与信息技术 - 电子工业生产设备 - 加工专用设备
SJ/T 31114-1994 TY系列辊道推板窑完好要求和检查评定方法
评定
检查
方法
722浏览行业标准-电子L99电子元器件与信息技术 - 电子工业生产设备 - 其他生产设备
SJ/T 31110-1994 AMV--1284型硅外延炉完好要求和检查评定方法
外延
评定
检查
568浏览行业标准-电子L97电子元器件与信息技术 - 电子工业生产设备 - 加工专用设备
SJ/T 31111-1994 AMC--7811/21型桶式外延炉完好要求和检查评定方法
外延
评定
检查
719浏览行业标准-电子L97电子元器件与信息技术 - 电子工业生产设备 - 加工专用设备
SJ/T 31112-1994 WGK型微控扩散系统完好要求和检查评定方法
扩散
评定
检查
662浏览行业标准-电子L99电子元器件与信息技术 - 电子工业生产设备 - 其他生产设备
SJ/T 31113-1994 DB--3型电子束爆光机完好要求和检查评定方法
电子束
评定
检查
588浏览行业标准-电子L97电子元器件与信息技术 - 电子工业生产设备 - 加工专用设备
SJ/T 31108-1994 CG--3000型单晶炉完好要求和检查评定方法
评定
检查
方法
998浏览行业标准-电子L97电子元器件与信息技术 - 电子工业生产设备 - 加工专用设备
SJ/T 31109-1994 高压单晶炉完好要求和检查评定方法
评定
高压
检查
947浏览行业标准-电子L97电子元器件与信息技术 - 电子工业生产设备 - 加工专用设备
SJ/T 31106-1994 PPT--10型膜片成型机完好要求和检查评定方法
膜片
评定
成型机
654浏览行业标准-电子L97电子元器件与信息技术 - 电子工业生产设备 - 加工专用设备