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提拉法单晶硅生长系统中碳杂质输运与控制的数值模拟与实验验证
提拉法
单晶硅
碳杂质
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碳杂质对硅衬底上AlGaNGaN二维电子气高场输运性质的影响
AlGaN/GaN异质结
碳杂质
硅衬底
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