GB/T 13389-2014 标准详情

GB/T 13389-2014 现行

掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程

Practice for conversion between resistivity and dopant density for boron-doped, phosphorus-doped, and arsenic-doped silicon

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发布日期2014-12-31

实施日期2015-09-01

批准发布部门国家标准委

发布部门中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口国家标准委

中国标准分类号H80

国际标准分类号29.045

标准层级国家标准

标准状态现行

标准号GB/T 13389-2014

标准名掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程

标准英文名Practice for conversion between resistivity and dopant density for boron-doped, phosphorus-doped, and arsenic-doped silicon