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GB/T 14847-2025 标准详情

GB/T 14847-2025 即将实施
重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的测试 红外反射法
Test method for thickness of lightly doped silicon epitaxial layers on heavily doped silicon substrates—Infrared reflectance method

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标准状态

2025-10-31
2026-05-01

标准信息

国家标准委
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
国家标准委
H21
77.040
国家标准
即将实施
GB/T 14847-2025
重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的测试 红外反射法
Test method for thickness of lightly doped silicon epitaxial layers on heavily doped silicon substrates—Infrared reflectance method

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