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GB/T 19921-2018 标准详情

GB/T 19921-2018 现行
硅抛光片表面颗粒测试方法
Test method for particles on polished silicon wafer surfaces

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标准状态

2018-12-28
2019-07-01

标准信息

国家标准委
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
国家标准委
H21
77.040
国家标准
现行
GB/T 19921-2018
硅抛光片表面颗粒测试方法
Test method for particles on polished silicon wafer surfaces

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