GB/T 30652-2023 标准详情

GB/T 30652-2023 现行
硅外延用三氯氢硅
Trichlorosilane for silicon epitaxial

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标准状态

2023-08-06
2024-03-01

标准信息

国家标准委
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
国家标准委
H83
29.045
国家标准
现行
GB/T 30652-2023
硅外延用三氯氢硅
Trichlorosilane for silicon epitaxial

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