GB/T 40279-2021 标准详情

GB/T 40279-2021 现行
硅片表面薄膜厚度的测试 光学反射法
Test method for thickness of films on silicon wafer surface—Optical reflection method

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标准状态

2021-08-20
2022-03-01

标准信息

国家标准委
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
国家标准委
H21
77.040
国家标准
现行
GB/T 40279-2021
硅片表面薄膜厚度的测试 光学反射法
Test method for thickness of films on silicon wafer surface—Optical reflection method

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