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GB/T 41153-2021 标准详情

GB/T 41153-2021 现行
碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法
Determination of boron, aluminum and nitrogen impurity content in silicon carbide single crystal—Secondary ion mass spectrometry

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标准状态

2021-12-31
2022-07-01

标准信息

国家标准委
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
国家标准委
H17
77.040
国家标准
现行
GB/T 41153-2021
碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法
Determination of boron, aluminum and nitrogen impurity content in silicon carbide single crystal—Secondary ion mass spectrometry

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