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GB/T 42902-2023 标准详情

GB/T 42902-2023 现行
碳化硅外延片表面缺陷的测试 激光散射法
Test method for surface defects on silicon carbide epitaxial wafers—Laser scattering method

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标准状态

2023-08-06
2024-03-01

标准信息

国家标准委
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
国家标准委
H21
77.040
国家标准
现行
GB/T 42902-2023
碳化硅外延片表面缺陷的测试 激光散射法
Test method for surface defects on silicon carbide epitaxial wafers—Laser scattering method

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