T/IAWBS 014-2021 标准详情
T/IAWBS 014-2021
现行
碳化硅单晶抛光片位错密度的测试方法
Test method for dislocation density of silicon carbide polished wafers
标准内容导航
标准状态
标准信息
适用范围
本文件规定了碳化硅单晶抛光片位错密度的测试方法。 本文件适用于晶面偏离{0001}面角度为0°～8°的碳化硅单晶抛光片的位错密度的测试。
主要技术内容
本文件规定了碳化硅单晶抛光片位错密度的测试方法。本文件适用于晶面偏离{0001}面角度为0°～8°的碳化硅单晶抛光片的位错密度的测试。
起草单位
中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟，北京天科合达半导体股份有限公司
起草人
彭同华、佘宗静、娄艳芳、王大军、赵宁、陈海芹、王波、刘春俊、郭钰、杨建
相似标准推荐
国家标准
GB/T 41765-2022
现行
碳化硅单晶位错密度的测试方法
Test method for dislocation density of monocrystalline silicon carbide
国家标准
GB/T 21944.4-2022
现行
碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅窑具 第4部分：烧嘴套
Special products of silicon carbide—Kiln furniture of reaction bonded silicon carbide—Part 4: Burner nozzles
T/NXCL 011-2022
现行
窑具用碳化硅微粉技术规范
Technical specification of silicon carbide powder for kiln furniture
行业标准
JC/T 2013-2010
现行
碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅板
国家标准
GB/T 37254-2018
现行
高纯碳化硅 微量元素的测定
High purity silicon carbide—Determination of trace elements
行业标准
JB/T 10152-2023
现行
碳化硅特种制品 氮化硅结合碳化硅 板
国家标准
GB/T 34520.4-2017
现行
连续碳化硅纤维测试方法 第4部分：束丝拉伸性能
Test methods for continuous silicon carbide fiber—Part 4：Tensile properties of filament yarn
行业标准
JB/T 10645-2020
现行
碳化硅特种制品 氮化硅结合碳化硅 烧嘴套
行业标准
JC/T 2149-2012
现行
高纯碳化硅粉体成分分析方法
行业标准
JB/T 10449-2020
现行
碳化硅特种制品 重结晶碳化硅 方梁
国家标准
GB/T 42905-2023
现行
碳化硅外延层厚度的测试 红外反射法
Test method for thickness of silicon carbide epitaxial layer—Infrared reflectance method
国家标准
GB/T 34520.7-2017
现行
连续碳化硅纤维测试方法 第7部分：高温强度保留率
Test methods for continuous silicon carbide fiber—Part 7 ：High temperature strength retention rate
国家标准
GB/T 34520.8-2021
现行
连续碳化硅纤维测试方法 第8部分：氧含量
Test methods of continuous silicon carbide fibers—Part 8：Oxygen content
行业标准
JB/T 13309-2017
现行
碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅内衬与钢壳复合装置
国家标准
GB/T 43885-2024
现行
碳化硅外延片
Silicon carbide epitaxial wafers
国家标准
GB/T 34520.6-2017
现行
连续碳化硅纤维测试方法 第6部分：电阻率
Test methods for continuous silicon carbide fiber－Part 6：Resistivity
T/CASAS 013-2021
现行
碳化硅晶片位错密度检测方法 KOH腐蚀结合图像识别法
Measuring method for testing the density of dislocation in SiC crystalCombined KOH etching and image recognition methods
T/IAWBS 016-2022
现行
碳化硅单晶片 X 射线双晶摇 摆曲线半高宽测试方法
行业标准
SN/T 1039-2020
现行
进出口吨包装碳化硅取样制样方法
行业标准
JC/T 2656-2022
现行
碳化硅陶瓷制品 工业计算机层析成像(CT)检测
行业标准
JB/T 8340-2013
现行
碳化硅特种制品 重结晶碳化硅热电偶保护管
行业标准
JB/T 10988-2023
现行
碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅 脱硫喷嘴
国家标准
GB/T 21944.1-2022
现行
碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅窑具 第1部分：方梁
Special products of silicon carbide—Kiln furniture of reaction bonded silicon carbide—Part 1：Beams
行业标准
JB/T 10044-2015
现行
碳化硅特种制品 硅碳管
行业标准
JC/T 2212-2014
现行
常压固相烧结碳化硅陶瓷热交换管
T/ZZB 2359-2021
现行
工业用高速包缝缝纫机针板
Industrial needle-plate for high speed overlock sewing machine
下载电子版
正在请求下载信息...