首页› 冶金› SJ/T 11500-2015

《SJ/T 11500-2015 碳化硅单晶晶向的测试方法》标准查询解读、电子版标准下载

SJ/T 11500-2015 现行
碳化硅单晶晶向的测试方法

《SJ/T 11500-2015 碳化硅单晶晶向的测试方法》标准内容导航

标准状态

2015-04-30
2015-10-01

标准信息

工业和信息化部
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
制定
H83
29.045
方法标准
电子
行业标准
现行
SJ/T 11500-2015
碳化硅单晶晶向的测试方法

起草单位

中国电子科技集团公司第四十六研究所、工业和信息化部电子工业标准化研究院

起草人

丁丽、郝建民、周智慧 等

相似标准推荐

国家标准
GB/T 32278-2025 现行
碳化硅单晶片厚度和平整度测试方法
Test method for thickness and fltaness of monocrystalline silicon carbide wafers
发布日期2025-08-01
实施日期2026-02-01
CCS分类H21
ICS分类77.040
国家标准
GB/T 43885-2024 现行
碳化硅外延片
Silicon carbide epitaxial wafers
发布日期2024-04-25
实施日期2024-11-01
CCS分类H83
ICS分类29.045
团体标准
T/IAWBS 013-2019 现行
半绝缘碳化硅单晶片电阻率非接触测量方法
The measurement method of resistivity for semi-insulating silicon carbide substrate
发布日期2019-12-27
实施日期2019-12-31
CCS分类
ICS分类29.045
国家标准
GB/T 30656-2023 现行
碳化硅单晶抛光片
Polished monocrystalline silicon carbide wafers
发布日期2023-03-17
实施日期2023-10-01
CCS分类H83
ICS分类29.045
行业标准
JB/T 13309-2017 现行
碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅内衬与钢壳复合装置
发布日期2017-11-07
实施日期2018-04-01
CCS分类J43
ICS分类25.100.70
行业标准
JC/T 2149-2012 现行
高纯碳化硅粉体成分分析方法
发布日期2012-12-28
实施日期2013-06-01
CCS分类Q32
ICS分类81.060.10
行业标准
JB/T 14612-2023 现行
碳化硅特种制品 硅碳棒电加热加速老化试验方法
发布日期2023-12-29
实施日期2024-07-01
CCS分类J43
ICS分类25.100.70
行业标准
JB/T 13946-2020 现行
碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅 悬臂桨
发布日期2020-04-16
实施日期2021-01-01
CCS分类J43
ICS分类25.100.70
行业标准
JC/T 2783-2023 现行
石墨中碳化硅含量的测定方法
发布日期2023-12-20
实施日期2024-07-01
CCS分类Q51
ICS分类73.080
团体标准
T/IAWBS 016-2022 现行
碳化硅单晶片 X 射线双晶摇 摆曲线半高宽测试方法
发布日期2022-03-17
实施日期2022-03-24
CCS分类
ICS分类29.045
团体标准
T/IAWBS 003-2017 现行
碳化硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法
Silicon carbide epitaxial layers—Determination of carrier concentration—Mercury probe capacitance-voltages method
发布日期2017-12-20
实施日期2017-12-31
CCS分类
ICS分类29.045
国家标准
GB/T 41153-2021 现行
碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法
Determination of boron, aluminum and nitrogen impurity content in silicon carbide single crystal—Secondary ion mass spectrometry
发布日期2021-12-31
实施日期2022-07-01
CCS分类H17
ICS分类77.040
行业标准
SN/T 1039-2020 现行
进出口吨包装碳化硅取样制样方法
发布日期2020-08-27
实施日期2021-03-01
CCS分类G00/09
ICS分类71.040.99
行业标准
JB/T 10645-2020 现行
碳化硅特种制品 氮化硅结合碳化硅 烧嘴套
发布日期2020-04-16
实施日期2021-01-01
CCS分类J43
ICS分类25.100.70
团体标准
T/CASAS 048-2025 现行
碳化硅单晶生长用等静压石墨
Iso-static graphite for silicon carbide single crystals
发布日期2025-04-23
实施日期2025-04-23
CCS分类Q 50/59
ICS分类31-030
行业标准
JB/T 10152-2023 现行
碳化硅特种制品 氮化硅结合碳化硅 板
发布日期2023-12-29
实施日期2024-07-01
CCS分类J43
ICS分类25.100.70
国家标准
GB/T 42905-2023 现行
碳化硅外延层厚度的测试 红外反射法
Test method for thickness of silicon carbide epitaxial layer—Infrared reflectance method
发布日期2023-08-06
实施日期2024-03-01
CCS分类H21
ICS分类77.040
国家标准
GB/T 41765-2022 现行
碳化硅单晶位错密度的测试方法
Test method for dislocation density of monocrystalline silicon carbide
发布日期2022-10-14
实施日期2023-05-01
CCS分类H21
ICS分类77.040
行业标准
JC/T 2516-2019 现行
砂磨机用反应烧结碳化硅内衬
发布日期2019-05-02
实施日期2019-11-01
CCS分类Q32
ICS分类ICS 81.060.30
国家标准
GB/T 21944.3-2022 现行
碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅窑具 第3部分：辊棒
Special products of silicon carbide—Kiln furniture of reaction bonded silicon carbide—Part 3：Rollers
发布日期2022-07-11
实施日期2023-02-01
CCS分类J43
ICS分类25.100.70
国家标准
GB/T 21944.2-2022 现行
碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅窑具 第2部分：异形梁
Special products of silicon carbide—Kiln furniture of reaction bonded silicon carbide—Part 2: Special shapebeams
发布日期2022-07-11
实施日期2023-02-01
CCS分类J43
ICS分类25.100.70
团体标准
T/SDAMA 010-2025 现行
碳化硅陶瓷晶舟制品用高纯碳化硅粉体
High purity silicon carbide powder for Silicon carbide ceramic wafer boat
发布日期2025-05-30
实施日期2025-05-30
CCS分类Q 32
ICS分类81.060.10 原料
团体标准
T/IAWBS 002-2017 现行
碳化硅外延片表面缺陷测试方法
Test method of surface defects for silicon carbide epitaxial wafers
发布日期2017-12-20
实施日期2017-12-31
CCS分类
ICS分类29.045
行业标准
JB/T 3890-2017 现行
碳化硅特种制品 硅碳棒
发布日期2017-11-07
实施日期2018-04-01
CCS分类J43
ICS分类25.100.70
行业标准
JC/T 2346-2015 现行
碳化硅陶瓷过滤器
发布日期2015-07-14
实施日期2016-01-01
CCS分类Q32
ICS分类81.060.30
行业标准
SJ/T 11308-2005 现行
电子设备用连接器 第4-101部分：有质量评定的印制板连接器 符合IEC60917的基本网格为2.0mm印制板和背板用两件式组合连接器详细规范
发布日期2005-06-28
实施日期2005-09-01
CCS分类L23
ICS分类31.220.10