微机电系统（MEMS）技术 术语 GBT 26111-2023

摘要：本文件规定了微机电系统（MEMS）技术相关的术语和定义。本文件适用于微机电系统的设计、制造、测试、应用及相关领域的技术交流和文档编制。
Title：Microelectromechanical Systems (MEMS) Technology - Terminology
中国标准分类号：L78
国际标准分类号：35.240

微机电系统（MEMS）技术 术语 GBT 2023

GBT 26111-2023 是关于微机电系统（MEMS）技术的术语标准，旨在规范和统一MEMS领域的专业术语，为相关研究、开发和应用提供参考。

主要内容

• 术语定义: 标准详细定义了MEMS技术相关的基础术语和技术术语，包括MEMS器件的设计、制造、测试以及应用等环节。
• 分类体系: 将MEMS技术按照功能和应用场景进行了分类，便于使用者快速定位所需术语。
• 更新内容: 新增了一些近年来发展迅速的技术领域术语，例如微流控、生物MEMS和智能传感器等。

与老版本的变化

• 新增术语: 相较于老版本，2023版增加了约30%的新术语，反映了MEMS技术在新兴领域的快速发展。
• 修订术语: 对部分原有术语的定义进行了修订，使其更加准确和符合当前技术发展趋势。
• 删除冗余: 删除了一些过时或较少使用的术语，使标准更加简洁实用。
• 国际化: 引入了一些国际通用术语，并提供了对应的英文翻译，方便国内外交流。