资源简介
摘要:本文件规定了三维集成电路中微间距叠层芯片的校准要求,包括校准方法、测试条件、性能指标和验证流程。本文件适用于三维集成电路设计、制造和测试过程中涉及微间距叠层芯片的相关方。
Title:Three-dimensional integrated circuits - Part 2: Calibration requirements for micro-pitch stacked chips
中国标准分类号:L80
国际标准分类号:31.140
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拓展解读
在遵循标准核心原则的前提下,通过优化流程和降低成本,可以为三维集成电路的微间距叠层芯片校准提供更大的灵活性。以下是基于核心业务环节提出的10项弹性方案。
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