资源简介
摘要:本文件规定了砷化镓单晶棒及片的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于以液封直拉法生长的砷化镓单晶棒及片,主要用于生产半导体器件和集成电路。
Title:Gallium Arsenide Single Crystal Bars and Wafers
中国标准分类号:L80
国际标准分类号:25.160
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拓展解读
SJ 3241-1989 是关于砷化镓单晶棒及片的标准,用于规范其生产和质量要求。以下是该标准的主要内容及其与老版本的对比。