GBT 30702-2014 表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 实验测定的相对灵敏度因子在均匀材料定量分析中的使用指南

GBT 30702-2014主要内容

该标准提供了在均匀材料定量分析中使用俄歇电子能谱（AES）和X射线光电子能谱（XPS）实验测定的相对灵敏度因子（RSF）的指南。

• 适用范围：适用于均匀材料的表面元素定量分析。
• 术语和定义：明确了相关术语如相对灵敏度因子、均匀材料等。
• 实验方法：
  • 详细描述了如何通过AES和XPS获取数据。
  • 强调了样品制备的要求和注意事项。
• 数据分析：介绍了如何利用RSF进行定量分析，并给出了计算公式。
• 不确定度评估：提供了评估测量结果不确定度的方法。

与老版本的变化

相比老版本，新标准有以下主要变化：

• 更新了术语和定义：更准确地反映了现代仪器和技术的发展。
• 改进了实验方法：增加了更多关于样品制备的细节，以提高测量精度。
• 优化了数据分析流程：引入了新的计算方法，使定量分析更加精确。
• 扩展了不确定度评估内容：增加了更多影响因素的考虑，提高了评估的全面性。