资源简介
摘要:本文件规定了金及金合金靶材的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于采用物理气相沉积(PVD)工艺制备电子薄膜用的金及金合金靶材。
Title:Gold and Gold Alloy Sputtering Targets
中国标准分类号:H46
国际标准分类号:25.160
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拓展解读
在遵循GBT 23611-2023
标准的前提下,通过灵活调整生产工艺和资源配置,可以有效降低生产成本并提高效率。以下是基于核心业务环节提出的10项弹性方案。