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    GBT 23611-2023 金及金合金靶材
    金靶材金合金靶材溅射靶材半导体薄膜材料
    16 浏览2025-06-09 更新pdf0.38MB 未评分
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  • 资源简介

    摘要:本文件规定了金及金合金靶材的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于采用物理气相沉积(PVD)工艺制备电子薄膜用的金及金合金靶材。
    Title:Gold and Gold Alloy Sputtering Targets
    中国标准分类号:H46
    国际标准分类号:25.160

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    GBT 23611-2023 金及金合金靶材
  • 拓展解读

    优化金及金合金靶材生产流程的弹性方案

    在遵循GBT 23611-2023标准的前提下,通过灵活调整生产工艺和资源配置,可以有效降低生产成本并提高效率。以下是基于核心业务环节提出的10项弹性方案。

    原材料采购与管理

    • 多供应商策略:引入多家合格供应商,通过竞争性招标降低采购成本。
    • 库存动态管理:采用实时监控系统,按需补货以减少库存积压。

    生产过程优化

    • 工艺参数调整:在确保质量的前提下,微调烧结温度与时间以缩短周期。
    • 自动化设备升级:引入智能机器人替代部分人工操作,提升精度与效率。

    质量控制与检测

    • 非破坏性检测技术:利用超声波或X射线代替传统切割检测,节省材料损耗。
    • 在线监测系统:安装传感器实时采集数据,及时发现并解决问题。

    能源与资源节约

    • 余热回收利用:将生产过程中产生的废热用于其他工序,降低能耗。
    • 循环用水系统:建立废水处理与再利用设施,减少水资源浪费。

    物流与供应链协同

    • 区域化配送中心:设立区域性仓储点,缩短运输距离,降低物流成本。
    • 信息共享平台:搭建上下游企业间的信息共享机制,实现精准对接。
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