GBT 15861-2012 离子束蚀刻机通用规范

GBT 15861-2012 离子束蚀刻机通用规范

GBT 15861-2012 是中国国家标准化管理委员会发布的关于离子束蚀刻机的通用规范标准。该标准为离子束蚀刻设备的设计、制造、检验和验收提供了统一的技术要求，旨在确保设备的性能稳定性和可靠性。

引言

离子束蚀刻技术广泛应用于半导体制造、光学器件加工以及精密机械领域。为了满足行业对高质量设备的需求，制定 GBT 15861-2012 标准显得尤为重要。本标准不仅规定了离子束蚀刻机的基本参数和技术指标，还明确了测试方法和验收准则。

离子束蚀刻机的主要技术要求

• 工作原理与结构：离子束蚀刻机应采用高能离子束对材料进行精确蚀刻。设备需具备稳定的离子源、高效的加速系统以及精准的扫描控制装置。
• 性能指标：
  • 离子束能量范围：通常为 1 keV 至 100 keV。
  • 束流密度：不低于 100 nA/cm²。
  • 扫描精度：±1 μm。
• 环境适应性：设备需在一定温度（15°C 至 35°C）和湿度（≤85%）条件下正常运行。

测试与验收

为了验证离子束蚀刻机是否符合 GBT 15861-2012 的要求，需进行以下测试：

• 离子束能量测试：通过专用仪器测量离子束的能量分布。
• 束流密度测试：使用高灵敏度的电流探测器检测束流密度。
• 扫描精度测试：利用显微镜观察蚀刻后的样品表面形貌。

结论

GBT 15861-2012 标准为离子束蚀刻机的规范化生产提供了科学依据，有助于提高设备的整体质量和市场竞争力。未来，随着技术的进步，该标准还需不断更新和完善，以适应更广泛的工业需求。