GBT 15862-1995 离子注入机通用技术条件

GBT 15862-1995 离子注入机通用技术条件

GBT 15862-1995 是一项关于离子注入机的技术标准，主要用于规范离子注入机的设计、制造和验收等方面的要求。以下是该标准的主要内容及与老版本的变化。

主要内容

• 适用范围: 适用于各种类型的离子注入机，包括半导体制造中使用的离子注入设备。
• 技术要求: 包括设备的性能指标、结构设计、材料选择、安全防护等多方面内容。
• 试验方法: 规定了如何对离子注入机进行测试和验证，确保其符合技术要求。
• 检验规则: 明确了设备在生产过程中的检验流程和合格判定标准。
• 标志、包装、运输和贮存: 对设备的标识、包装方式以及运输和存储提出了具体要求。

与老版本的变化

• 性能提升: 新版本对离子注入机的性能指标提出了更高的要求，例如加速电压精度和束流稳定性。
• 安全性增强: 强调了设备的安全防护措施，增加了对辐射防护的具体规定。
• 环保要求: 新版标准增加了对设备环保性能的关注，要求减少有害物质的使用。
• 试验方法更新: 更新了一些试验方法，以适应现代检测技术和设备的发展。
• 结构优化: 在结构设计上进行了优化，提高了设备的可靠性和可维护性。