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资源简介
摘要：本文件规定了电子工业用气体氧的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于电子工业中作为工艺气体使用的氧气，主要用于半导体、微电子器件的制造及其他相关领域。
Title：Electronic industry gases - Oxygen
中国标准分类号：H21
国际标准分类号：71.100.99 -
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拓展解读
GBT 14604-2009 电子工业用气体.氧
GBT 14604-2009 是关于电子工业用气体中氧气的标准，用于规范氧气的质量要求和检测方法。以下是该标准的主要内容及与老版本的变化。
主要内容
- 质量指标：规定了氧气的纯度、杂质含量等具体指标。
- 检测方法：详细描述了如何检测氧气中的杂质和纯度。
- 应用领域：适用于电子工业中对高纯度氧气的需求。
与老版本的变化
- 更严格的纯度要求：新版本提高了氧气纯度的标准，以满足更高技术需求。
- 新增杂质检测项目：增加了某些特定杂质的检测要求。
- 改进检测方法：更新了部分检测方法，使其更加精确和高效。
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