资源简介
摘要:本文件规定了硅外延片的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本文件适用于以硅单晶片为衬底,通过外延生长形成的硅外延片,主要用于半导体器件的制造。 Title:Silicon Epitaxial Wafers 中国标准分类号:H25 国际标准分类号:25.160
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拓展解读
GBT 14139-1993 是一项关于硅外延片的标准,主要用于规范硅外延片的生产和检测要求。以下是该标准的主要内容及与老版本的变化。
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