外延技术
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GBT 14139-1993 硅外延片
硅外延片
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GBT 14139-2009 硅外延片
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SJT 11275-2002 卧式液相外延系统通用规范
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SJ 1549-1979 硅外延片(暂行)
硅外延片
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TZZB 2833-2022 高压MOSFET用200 mm硅外延片
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硅外延片
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