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    GBT 12965-2018 硅单晶切割片和研磨片
    硅单晶切割片研磨片半导体材料加工技术
    16 浏览2025-06-09 更新pdf0.41MB 未评分
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    摘要:本文件规定了硅单晶切割片和研磨片的术语和定义、分类与标记、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本文件适用于以硅单晶为原料,经切割和研磨工艺制成的硅单晶切割片和研磨片。
    Title:Silicon monocrystal slicing and grinding wafers
    中国标准分类号:H21
    国际标准分类号:25.160.30

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    GBT 12965-2018 硅单晶切割片和研磨片
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    GBT 12965-2018 硅单晶切割片和研磨片

    GBT 12965-2018 是中国国家标准化管理委员会发布的关于硅单晶切割片和研磨片的标准文件。这一标准详细规定了硅单晶材料在半导体工业中的加工要求、性能指标以及检测方法,为相关产品的生产提供了科学依据和技术支持。

    硅单晶切割片和研磨片是现代电子工业中不可或缺的基础材料。它们广泛应用于集成电路、太阳能电池板等领域,因此其质量直接关系到最终产品的性能与可靠性。标准中对这些材料的尺寸精度、表面粗糙度、翘曲度等关键参数进行了严格规范,确保产品能够满足不同应用场景的需求。

    标准的主要内容

    根据 GBT 12965-2018 的规定,硅单晶切割片和研磨片需要满足以下基本要求:

    • 尺寸精度:包括直径公差、厚度公差以及平行度要求。
    • 表面质量:表面粗糙度、划痕深度及数量限制。
    • 物理特性:如电阻率、导电类型等。
    • 化学纯度:杂质含量需符合特定限值。

    此外,标准还明确了各类检测手段,例如光学显微镜检查、X射线衍射分析等,用以验证材料是否达到预期标准。

    实际应用案例

    以某知名光伏企业为例,其在生产高效能太阳能电池时,采用了符合 GBT 12965-2018 标准的硅单晶切割片作为基底材料。通过严格控制每一片硅片的厚度均匀性(误差小于±5微米),该公司成功提高了电池转换效率至22%以上,远超行业平均水平。这一成果不仅显著降低了单位发电成本,也为推动清洁能源发展做出了贡献。

    另一个典型案例来自一家半导体制造公司。他们利用该标准指导下的高精度研磨技术处理晶圆表面,使得器件工作稳定性提升了30%,同时大幅减少了因缺陷导致的报废率。这充分体现了高质量材料对于提升整体产业链竞争力的重要性。

    总结

    GBT 12965-2018 不仅是中国半导体行业的重要参考文件之一,也是全球范围内同类产品品质保障体系的一部分。随着科技进步和社会需求增长,未来还将有更多创新技术和解决方案围绕此标准展开研究与实践。我们相信,在各方共同努力下,硅单晶切割片和研磨片的质量将持续优化,为人类社会带来更大的经济效益与环境效益。

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