GB/T 44839-2024 标准详情
GB/T 44839-2024
现行
微机电系统(MEMS)技术 MEMS材料微柱压缩试验方法
Micro-electromechanical systems (MEMS) technology一Micro-pillar compression test for MEMS materials
标准内容导航
标准状态
标准信息
相似标准推荐
国家标准
GB/T 41853-2022
现行
半导体器件 微机电器件 晶圆间键合强度测量
Semiconductor devices—Micro-electromechanical devices—Wafer to wafer bonding strength measurement
国家标准
GB/T 42897-2023
现行
微机电系统(MEMS)技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法
Micro-electromechanical systems(MEMS) technology—Tensile strength test method for nano-scale membranes of silicon based MEMS
国家标准
GB/T 26111-2023
现行
微机电系统(MEMS)技术 术语
Micro-electromechanical system technology—Terms
国家标准
GB/T 32817-2016
现行
半导体器件 微机电器件 MEMS总规范
Semiconductor devices—Micro-electromechanical devices—Generic specification for MEMS
国家标准
GB/T 42597-2023
现行
微机电系统(MEMS)技术 陀螺仪
Micro-electromechanical systems technology—Gyroscopes
国家标准
GB/T 42456-2023
现行
工业自动化和控制系统信息安全 IACS组件的安全技术要求
Security for industrial automation and control systems—Technical security requirements for IACS components