检查评定
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SJT 31106-1994 PPT-10型膜片成型机完好要求和检查评定方法
膜片成型机
完好要求
检查评定
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SJT 31111-1994 AMC-781121型桶式外延炉完好要求和检查评定方法
外延炉
完好要求
检查评定
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电子束曝光机
完好要求
检查评定
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辊道推板窑
完好要求
检查评定
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SJT 31117-1994 15B型磨片机完好要求和检查评定方法
磨片机
完好要求
检查评定
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SJT 31124-1994 AEC-2200型常压CVD完好要求和检查评定方法
CVD
完好要求
检查评定
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SJT 31130-1994 D051-22型高温氢气炉完好要求和检查评定方法
高温氢气炉
完好要求
检查评定
9 浏览量2025-06-09上传pdf0.05MB暂未评分
SJT 31132-1994 ASM型微机扩散炉完好要求和检查评定方法
微机扩散炉
完好要求
检查评定
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SJT 31149-1994 真空去气炉完好要求和检查评定方法
真空去气炉
完好要求
检查评定
5 浏览量2025-06-09上传pdf0.05MB暂未评分
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烧氢炉
完好要求
检查评定
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SJT 31155-1994 P436型六位排气台完好要求和检查评定方法
排气台
完好要求
检查评定
6 浏览量2025-06-09上传pdf0.06MB暂未评分
SJT 31165-1994 功率行波管电性能测试电源完好要求和检查评定方法
功率行波管
电性能测试
电源完好
7 浏览量2025-06-09上传pdf0.08MB暂未评分
SJT 31168-1994 发射管电性能测试电源完好要求和检查评定方法
发射管
电性能
测试电源
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SJT 31171-1994 排气炉完好要求和检查评定方法
排气炉
完好要求
检查评定
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SJT 31177-1994 线圈装配机完好要求和检查评定方法
线圈装配机
完好要求
检查评定
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