FZT 80014-2012 洁净室服装.通用技术规范
洁净室
服装
通用技术规范

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GB 50591-2010 洁净室施工及验收规范
洁净室
施工
验收

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GBT 24249-2009 防静电洁净织物
防静电
洁净织物
纺织品

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GBT 24461-2009 洁净室用灯具技术要求
洁净室
灯具
技术要求

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GBT 24461-2023 洁净室用灯具技术要求
洁净室
灯具
技术要求

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GBT 25915.10-2021 洁净室及相关受控环境 第10部分:按化学物浓度划分表面洁净度等级
洁净室
表面洁净度
化学物浓度

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GBT 25915.1-2021 洁净室及相关受控环境 第1部分:按粒子浓度划分空气洁净度等级
洁净室
空气洁净度
粒子浓度

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GBT 25915.12-2021 洁净室及相关受控环境 第12部分:监测空气中纳米粒子浓度的技术要求
洁净室
纳米粒子
监测技术

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GBT 25915.13-2022 洁净室及相关受控环境 第13部分:达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁
洁净室
表面清洁
粒子洁净度

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GBT 25915.14-2022 洁净室及相关受控环境 第14部分:按粒子浓度评估设备适用性
洁净室
受控环境
粒子浓度

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GBT 25915.8-2021 洁净室及相关受控环境 第8部分:按化学物浓度划分空气洁净度(ACC)等级
洁净室
化学物浓度
空气洁净度

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GBT 25915.2-2021 洁净室及相关受控环境 第2部分:洁净室空气粒子浓度的监测
洁净室
空气粒子浓度
监测

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GBT 25915.15-2022 洁净室及相关受控环境 第15部分: 按气态化学物浓度评定设备及材料的适用性
洁净室
气态化学物
设备

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GBT 25915.9-2018 洁净室及相关受控环境 第9部分:按粒子浓度划分表面洁净度等级
洁净室
表面洁净度
粒子浓度

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GBT 25916.2-2010 洁净室及相关受控环境 生物污染控制 第2部分:生物污染数据的评估与分析
洁净室
生物污染控制
数据分析

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