溅射
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IPC、ECLA和CPC在真空蒸发、溅射或离子注入镀覆领域中的分类结构和检索应用对比
真空蒸发
溅射
离子注入

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YST 936-2013 集成电路器件用镍钒合金靶材
集成电路
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