薄层电阻
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GBT 14141-1993 硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定
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GBT 14141-2009 硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定.直排四探针法
硅外延层
扩散层
离子注入层
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GBT 37152-2018 纳米技术 碳纳米管材料 薄层电阻
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薄层电阻
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GBT 6616-2023 半导体晶片电阻率及半导体薄膜薄层电阻的测试 非接触涡流法
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薄膜
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16浏览2025-06-08上传pdf0.43MB未评分
SJ 20515-1995 金电镀层薄层电阻测试方法
金电镀层
薄层电阻
测试方法
21浏览2025-06-07上传pdf0.21MB未评分