MEMS
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MEMS在片测试系统整体校准技术探讨
MEMS
在片测试
系统校准
4 浏览量2025-07-19上传pdf0.7MMB共5页暂未评分
不同微结构的纤毛式MEMS矢量水听器性能研究
微结构
MEMS
矢量水听器
6 浏览量2025-07-19上传pdf0.64MB共4页暂未评分
基于MEMS的小型气相色谱仪
MEMS
气相色谱仪
微型化
5 浏览量2025-07-18上传pdf1.03MB共2页暂未评分
基于MEMS的火箭制导平台INS-GPS组合导航算法研究
MEMS
INS-GPS
组合导航算法
5 浏览量2025-07-18上传pdf1.76MB共8页暂未评分
航空MEMS推进器发展现状及趋势
航空
MEMS
推进器
3 浏览量2025-07-18上传pdf0.81MB共6页暂未评分
内置MEMS隔断机构的微起爆装置
MEMS
隔断机构
微起爆装置
5 浏览量2025-07-18上传pdf0.75MB共5页暂未评分
卫星组合导航GPS和MEMS信号处理
卫星导航
GPS
MEMS
5 浏览量2025-07-17上传pdf2.22MB共7页暂未评分
新型MEMS静电场传感器原理、标定及应用
MEMS
静电场传感器
标定方法
2 浏览量2025-07-17上传pdf1.75MB共6页暂未评分
GBT 26112-2010 微机电系统(MEMS)技术 微机械量评定总则
微机电系统
MEMS
微机械量
7 浏览量2025-06-09上传pdf0.44MB暂未评分
GBT 26111-2010 微机电系统(MEMS)技术 术语
微机电系统
MEMS
术语
10 浏览量2025-06-09上传pdf0.76MB暂未评分
GBT 26113-2010 微机电系统(MEMS)技术 微几何量评定总则
微机电系统
MEMS
微几何量
7 浏览量2025-06-09上传pdf0.42MB暂未评分
GBT 28276-2012 硅基MEMS制造技术.体硅溶片工艺规范
硅基MEMS
体硅溶片工艺
制造技术
8 浏览量2025-06-09上传pdf0.65MB暂未评分
GBT 28855-2012 硅基压力传感器
硅基压力传感器
半导体传感器
压力测量
9 浏览量2025-06-09上传pdf0.62MB暂未评分
GBT 33922-2017 MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验方法
MEMS
压阻式
压力敏感芯片
7 浏览量2025-06-09上传pdf0.39MB暂未评分
GBT 33929-2017 MEMS高g值加速度传感器性能试验方法
MEMS
高g值加速度传感器
性能试验方法
7 浏览量2025-06-09上传pdf0.44MB暂未评分