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MEMS
隔断机构
微起爆装置

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卫星组合导航GPS和MEMS信号处理
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新型MEMS静电场传感器原理、标定及应用
MEMS
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标定方法

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GBT 26111-2010 微机电系统(MEMS)技术 术语
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GBT 26112-2010 微机电系统(MEMS)技术 微机械量评定总则
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GBT 26113-2010 微机电系统(MEMS)技术 微几何量评定总则
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GBT 28276-2012 硅基MEMS制造技术.体硅溶片工艺规范
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GBT 33922-2017 MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验方法
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GBT 33929-2017 MEMS高g值加速度传感器性能试验方法
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GBT 34894-2017 微机电系统(MEMS)技术 基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法
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GBT 34893-2017 微机电系统(MEMS)技术 基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法
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GBT 34898-2017 微机电系统(MEMS)技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法
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