MEMS
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GBT 34894-2017 微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法
微机电系统
MEMS
光学干涉
12 浏览量2025-06-09上传pdf0.45MB暂未评分
GBT 34893-2017 微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法
微机电系统
MEMS
光学干涉
8 浏览量2025-06-09上传pdf0.57MB暂未评分
GBT 34898-2017 微机电系统（MEMS）技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法
MEMS
谐振敏感元件
非线性振动
4 浏览量2025-06-09上传pdf0.45MB暂未评分
GBT 34899-2017 微机电系统（MEMS）技术 基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法
微机电系统
MEMS
拉曼光谱法
11 浏览量2025-06-09上传pdf0.79MB暂未评分
GBT 34900-2017 微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构残余应变测量方法
微机电系统
MEMS
光学干涉
9 浏览量2025-06-09上传pdf0.5MB暂未评分
GBT 35086-2018 MEMS电场传感器通用技术条件
MEMS
电场传感器
通用技术条件
12 浏览量2025-06-09上传pdf0.45MB暂未评分
GBT 38341-2019 微机电系统（MEMS）技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法
微机电系统
MEMS
可靠性
6 浏览量2025-06-08上传pdf0.48MB暂未评分
GBT 38446-2020 微机电系统（MEMS）技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法
微机电系统
MEMS
带状薄膜
10 浏览量2025-06-08上传pdf0.55MB暂未评分
GBT 38447-2020 微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法
微机电系统
MEMS
共振疲劳试验
9 浏览量2025-06-08上传pdf0.73MB暂未评分
GBT 41852-2022 半导体器件 微机电器件 MEMS结构黏结强度的弯曲和剪切试验方法
半导体器件
MEMS
黏结强度
13 浏览量2025-06-08上传pdf0.56MB暂未评分
GBT 42158-2023 微机电系统（MEMS）技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法
微机电系统
MEMS
微沟槽
8 浏览量2025-06-08上传pdf3.08MB暂未评分
JJF 1427-2013 微机电(MEMS)线加速度计校准规范
微机电
MEMS
线加速度计
6 浏览量2025-06-07上传pdf0.49MB暂未评分
MEMS压阻式压力敏感器件性能试验方法 GBT 42191-2023
MEMS
压阻式
压力敏感器件
8 浏览量2025-06-07上传pdf0.41MB暂未评分
半导体器件 微电子机械器件 第5部分：射频MEMS开关 GBT 42709.5-2023
半导体器件
微电子机械系统
MEMS
7 浏览量2025-06-06上传pdf1.32MB暂未评分
半导体器件 微电子机械器件 第7部分：用于射频控制和选择的MEMS体声波滤波器和双工器 GBT 42709.7-2023
半导体器件
微电子机械器件
MEMS
9 浏览量2025-06-06上传pdf0.76MB暂未评分