MEMS
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内置MEMS隔断机构的微起爆装置
MEMS
隔断机构
微起爆装置
26浏览2025-07-18上传pdf0.75MB共5页未评分
卫星组合导航GPS和MEMS信号处理
卫星导航
GPS
MEMS
26浏览2025-07-17上传pdf2.22MB共7页未评分
新型MEMS静电场传感器原理、标定及应用
MEMS
静电场传感器
标定方法
30浏览2025-07-17上传pdf1.75MB共6页未评分
GBT 26111-2010 微机电系统(MEMS)技术 术语
微机电系统
MEMS
术语
30浏览2025-06-09上传pdf0.76MB未评分
GBT 26112-2010 微机电系统(MEMS)技术 微机械量评定总则
微机电系统
MEMS
微机械量
25浏览2025-06-09上传pdf0.44MB未评分
GBT 26113-2010 微机电系统(MEMS)技术 微几何量评定总则
微机电系统
MEMS
微几何量
26浏览2025-06-09上传pdf0.42MB未评分
GBT 28276-2012 硅基MEMS制造技术.体硅溶片工艺规范
硅基MEMS
体硅溶片工艺
制造技术
32浏览2025-06-09上传pdf0.65MB未评分
GBT 28855-2012 硅基压力传感器
硅基压力传感器
半导体传感器
压力测量
37浏览2025-06-09上传pdf0.62MB未评分
GBT 33922-2017 MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验方法
MEMS
压阻式
压力敏感芯片
31浏览2025-06-09上传pdf0.39MB未评分
GBT 33929-2017 MEMS高g值加速度传感器性能试验方法
MEMS
高g值加速度传感器
性能试验方法
21浏览2025-06-09上传pdf0.44MB未评分
GBT 34894-2017 微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法
微机电系统
MEMS
光学干涉
27浏览2025-06-09上传pdf0.45MB未评分
GBT 34893-2017 微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法
微机电系统
MEMS
光学干涉
29浏览2025-06-09上传pdf0.57MB未评分
GBT 34898-2017 微机电系统（MEMS）技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法
MEMS
谐振敏感元件
非线性振动
27浏览2025-06-09上传pdf0.45MB未评分
GBT 34899-2017 微机电系统（MEMS）技术 基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法
微机电系统
MEMS
拉曼光谱法
32浏览2025-06-09上传pdf0.79MB未评分
GBT 34900-2017 微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构残余应变测量方法
微机电系统
MEMS
光学干涉
29浏览2025-06-09上传pdf0.5MB未评分