MEMS
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GBT 35086-2018 MEMS电场传感器通用技术条件
MEMS
电场传感器
通用技术条件
35浏览2025-06-09上传pdf0.45MB未评分
GBT 38341-2019 微机电系统（MEMS）技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法
微机电系统
MEMS
可靠性
29浏览2025-06-08上传pdf0.48MB未评分
GBT 38446-2020 微机电系统（MEMS）技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法
微机电系统
MEMS
带状薄膜
33浏览2025-06-08上传pdf0.55MB未评分
GBT 38447-2020 微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法
微机电系统
MEMS
共振疲劳试验
33浏览2025-06-08上传pdf0.73MB未评分
GBT 41852-2022 半导体器件 微机电器件 MEMS结构黏结强度的弯曲和剪切试验方法
半导体器件
MEMS
黏结强度
32浏览2025-06-08上传pdf0.56MB未评分
GBT 42158-2023 微机电系统（MEMS）技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法
微机电系统
MEMS
微沟槽
30浏览2025-06-08上传pdf3.08MB未评分
JJF 1427-2013 微机电(MEMS)线加速度计校准规范
微机电
MEMS
线加速度计
23浏览2025-06-07上传pdf0.49MB未评分
MEMS压阻式压力敏感器件性能试验方法 GBT 42191-2023
MEMS
压阻式
压力敏感器件
43浏览2025-06-07上传pdf0.41MB未评分
半导体器件 微电子机械器件 第5部分：射频MEMS开关 GBT 42709.5-2023
半导体器件
微电子机械系统
MEMS
32浏览2025-06-06上传pdf1.32MB未评分
半导体器件 微电子机械器件 第7部分：用于射频控制和选择的MEMS体声波滤波器和双工器 GBT 42709.7-2023
半导体器件
微电子机械器件
MEMS
32浏览2025-06-06上传pdf0.76MB未评分
微机电系统（MEMS）技术 术语 GBT 26111-2023
微机电系统
MEMS
技术
26浏览2025-06-06上传pdf0.68MB未评分
微机电系统（MEMS）技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法 GBT 42158-2023
微机电系统
MEMS
微沟槽
25浏览2025-06-06上传pdf3.08MB未评分
微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法 GBT 42895-2023
微机电系统
MEMS
硅基
30浏览2025-06-06上传pdf0.8MB未评分
微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法 GBT 42896-2023
微机电系统
MEMS
硅基
33浏览2025-06-06上传pdf0.58MB未评分
微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法 GBT 42897-2023
微机电系统
MEMS
硅基
31浏览2025-06-06上传pdf0.82MB未评分