MEMS
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微机电系统（MEMS）技术 术语 GBT 26111-2023
微机电系统
MEMS
技术
8 浏览量2025-06-06上传pdf0.68MB暂未评分
微机电系统（MEMS）技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法 GBT 42158-2023
微机电系统
MEMS
微沟槽
9 浏览量2025-06-06上传pdf3.08MB暂未评分
微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法 GBT 42895-2023
微机电系统
MEMS
硅基
15 浏览量2025-06-06上传pdf0.8MB暂未评分
微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法 GBT 42896-2023
微机电系统
MEMS
硅基
11 浏览量2025-06-06上传pdf0.58MB暂未评分
微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法 GBT 42897-2023
微机电系统
MEMS
硅基
11 浏览量2025-06-06上传pdf0.82MB暂未评分
微机电系统（MEMS）技术 陀螺仪 GBT 42597-2023
微机电系统
MEMS
陀螺仪
15 浏览量2025-06-06上传pdf3.01MB暂未评分
TNLIA 002-2021 汽车MEMS压力传感器灌封工艺仿真规范
汽车
MEMS
压力传感器
8 浏览量2025-06-02上传pdf0.25MB暂未评分
TAHEMA 23-2022 MEMS VOC 气体传感器技术要求
MEMS
VOC
气体传感器
14 浏览量2025-06-02上传pdf0.25MB暂未评分
TZOIA 30001-2022 MEMS高深宽比结构深度测量方法 光谱反射法
MEMS
高深宽比结构
深度测量
11 浏览量2025-06-02上传pdf0.62MB暂未评分
TSZAACN 00001-2023 MEMS 微型扬声器通用技术要求
MEMS
微型扬声器
技术要求
10 浏览量2025-06-01上传pdf2.48MB暂未评分