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SJ/T 11503-2015 现行
碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法

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标准状态

2015-04-30
2015-10-01

标准信息

工业和信息化部
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
制定
H83
29.045
方法标准
电子
行业标准
现行
SJ/T 11503-2015
碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法

起草单位

中国电子科技集团公司第四十六研究所、北京天科合达蓝光半导体有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院

起草人

丁丽、何友琴、郑红军 等

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