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摘要:本文件规定了硅外延片的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本文件适用于以硅单晶片为衬底,采用气相外延工艺制备的硅外延片。
Title:Provisional Standard for Silicon Epitaxial Wafers
中国标准分类号:H52
国际标准分类号:25.160
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拓展解读
在遵循SJ 1549-1979《硅外延片(暂行)》标准的前提下,通过深入分析核心业务环节,可以找到一些灵活执行和优化流程的方法,从而降低生产成本并提高效率。