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资源简介
摘要：本文件规定了使用红外干涉法测量砷化镓外延层厚度的方法和步骤。本文件适用于砷化镓外延层厚度的精确测量及相关质量控制。
Title：Measurement Method of Gallium Arsenide Epitaxial Layer Thickness by Infrared Interference
中国标准分类号：L80
国际标准分类号：17.060 -
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拓展解读
GBT 8758-1988 砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法
该标准规定了利用红外干涉技术测量砷化镓外延层厚度的方法，适用于半导体材料的精确检测。
主要内容
- 测量原理: 利用红外光通过砷化镓外延层产生的干涉现象，计算外延层的厚度。
- 设备要求: 需要配备高精度的红外光源、干涉仪和数据处理系统。
- 样品准备: 要求样品表面清洁，无污染或损伤。
- 测量步骤: 包括仪器校准、样品放置、数据采集和结果分析。
- 结果表达: 测量结果需以微米为单位，并附带不确定度。
与老版本的变化
- 技术进步: 新版本引入了更高精度的红外光源，提高了测量的准确性。
- 操作简化: 数据处理部分增加了自动化功能，减少了人为误差。
- 适用范围扩展: 增加了对不同厚度范围的外延层的支持。
- 环境要求: 对实验室环境条件提出了更严格的要求，确保测量的稳定性。
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