资源简介
摘要:本文件规定了液封直拉法砷化镓单晶及切割片的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于液封直拉法生长的砷化镓单晶及其切割片,主要用于制造半导体器件和集成电路。
Title:Liquid Sealed Czochralski Method Grown Gallium Arsenide Single Crystals and Sliced Wafers
中国标准分类号:H52
国际标准分类号:29.045
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拓展解读
在液封直拉法砷化镓单晶及切割片的生产过程中,严格遵循GB/T 11093-2007标准的同时,可以通过优化流程和资源配置来提高效率并降低成本。以下是10项可行的弹性方案。