GBT 11068-2006 砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法

GBT 11068-2006主要内容

该标准规定了通过电容-电压（C-V）测量方法来测定砷化镓外延层载流子浓度的具体步骤和要求。主要内容包括：

• 适用范围：适用于砷化镓外延层的载流子浓度测试。
• 术语和定义：明确了相关术语和概念。
• 仪器设备：详细列出所需设备及其技术要求。
• 样品制备：描述了样品的制备过程和注意事项。
• 测量条件：规定了测量时的环境条件和参数设置。
• 数据处理：提供了数据处理的方法和公式。

与老版本的变化

相比老版本，GBT 11068-2006在以下几个方面进行了更新和改进：

• 术语更新：引入了一些新的专业术语，并对原有术语进行了更精确的定义。
• 测量精度提升：改进了测量方法，提高了载流子浓度测量的准确性和重复性。
• 设备要求增强：对仪器设备的技术指标提出了更高的要求，以适应更高精度的测试需求。
• 环境控制加强：增加了对测量环境的严格控制要求，减少外界因素对测量结果的影响。
• 数据处理优化：更新了数据处理算法，使其更适合现代计算机处理方式。