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资源简介
摘要：本文件规定了砷化镓外延层载流子浓度的电容-电压测量方法，包括测量原理、设备要求、样品制备、测量步骤和数据处理等内容。本文件适用于砷化镓外延层载流子浓度的定量分析及相关质量控制。
Title：Measurement Method of Carrier Concentration in Gallium Arsenide Epitaxial Layer by Capacitance-Voltage
中国标准分类号：L80
国际标准分类号：31.140 -
封面预览
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拓展解读
GBT 11068-1989主要内容
该标准规定了通过电容-电压（C-V）技术测量砷化镓外延层载流子浓度的方法。主要涉及测试设备、样品制备、测量条件以及数据处理等方面。
对比老版本的变化
- 测试设备: 新版本对测试设备的精度要求更高，增加了对环境温度控制的具体指标。
- 样品制备: 强调了样品表面清洁度的要求，并新增了对样品厚度测量的步骤。
- 测量条件: 调整了测量时的偏置电压范围，确保数据更准确地反映实际应用条件。
- 数据处理: 增加了对异常数据的剔除方法，并优化了载流子浓度计算公式。
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