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GB/T 34971-2017 标准详情

GB/T 34971-2017 现行
半导体制造用气体处理指南
Guide for gaseous effluent handling in semiconductor industry

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标准状态

2017-11-01
2018-02-01

标准信息

国家标准委
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
国家标准委
G86
71.040.40
国家标准
现行
GB/T 34971-2017
半导体制造用气体处理指南
Guide for gaseous effluent handling in semiconductor industry

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