GB/T 43894.1-2024 标准详情

GB/T 43894.1-2024 现行
半导体晶片近边缘几何形态评价 第1部分:高度径向二阶导数法(ZDD)
Practice for determining semiconductor wafer near-edge geometry—Part 1:Measured height data array using a curvature metric(ZDD)

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标准状态

2024-04-25
2024-11-01

标准信息

国家标准委
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
国家标准委
H21
77.040
国家标准
现行
GB/T 43894.1-2024
半导体晶片近边缘几何形态评价 第1部分:高度径向二阶导数法(ZDD)
Practice for determining semiconductor wafer near-edge geometry—Part 1:Measured height data array using a curvature metric(ZDD)

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