微机电系统
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GBT 34894-2017 微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法
微机电系统
MEMS
光学干涉
12 浏览量2025-06-09上传pdf0.45MB暂未评分
GBT 34893-2017 微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法
微机电系统
MEMS
光学干涉
5 浏览量2025-06-09上传pdf0.57MB暂未评分
GBT 34898-2017 微机电系统（MEMS）技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法
MEMS
谐振敏感元件
非线性振动
4 浏览量2025-06-09上传pdf0.45MB暂未评分
GBT 34899-2017 微机电系统（MEMS）技术 基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法
微机电系统
MEMS
拉曼光谱法
11 浏览量2025-06-09上传pdf0.79MB暂未评分
GBT 34900-2017 微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构残余应变测量方法
微机电系统
MEMS
光学干涉
9 浏览量2025-06-09上传pdf0.5MB暂未评分
GBT 38341-2019 微机电系统（MEMS）技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法
微机电系统
MEMS
可靠性
5 浏览量2025-06-08上传pdf0.48MB暂未评分
GBT 38446-2020 微机电系统（MEMS）技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法
微机电系统
MEMS
带状薄膜
8 浏览量2025-06-08上传pdf0.55MB暂未评分
GBT 38447-2020 微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法
微机电系统
MEMS
共振疲劳试验
8 浏览量2025-06-08上传pdf0.73MB暂未评分
GBT 42158-2023 微机电系统（MEMS）技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法
微机电系统
MEMS
微沟槽
6 浏览量2025-06-08上传pdf3.08MB暂未评分
微机电系统（MEMS）技术 术语 GBT 26111-2023
微机电系统
MEMS
技术
7 浏览量2025-06-06上传pdf0.68MB暂未评分
微机电系统（MEMS）技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法 GBT 42158-2023
微机电系统
MEMS
微沟槽
8 浏览量2025-06-06上传pdf3.08MB暂未评分
微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法 GBT 42895-2023
微机电系统
MEMS
硅基
14 浏览量2025-06-06上传pdf0.8MB暂未评分
微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法 GBT 42896-2023
微机电系统
MEMS
硅基
10 浏览量2025-06-06上传pdf0.58MB暂未评分
微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法 GBT 42897-2023
微机电系统
MEMS
硅基
10 浏览量2025-06-06上传pdf0.82MB暂未评分
微机电系统（MEMS）技术 陀螺仪 GBT 42597-2023
微机电系统
MEMS
陀螺仪
14 浏览量2025-06-06上传pdf3.01MB暂未评分